GPIXP/D系列激光干涉測量儀，運(yùn)用移相干涉原理，提供高精度的平面面形，球面面形，曲率半徑，樣品表面質(zhì)量，傳輸波前的測量和分析?？蓱?yīng)用于：

平面和球面的面形檢測 
平面楔角測量、直角棱鏡的直角偏差和任意角度的加工偏差 
光學(xué)材料均勻性測量 
角錐角度和面形偏差測量 
精密盤片質(zhì)量檢驗 
三平板絕對測量 
雙球面絕對測量 
靜態(tài)干涉條紋判斷 
澤尼克多項式分析 
球面曲率半徑測量 
GPI系列高精度激光干涉測量儀的主機(jī)為Fizeau型干涉儀，具有光學(xué)器件少，精度高，易于使用等特點。光源為低功率氨氖激光，光束擴(kuò)展為1英寸（25mm）至 32英寸（810mm）直徑，自干涉儀輸出。安裝在輸出孔之前的標(biāo)準(zhǔn)透射器件將部分激光反射回干涉儀，形成參考波面。余下激光穿過透射器至樣品。根據(jù)光束在樣品表面直接反射或透射后再反射回主機(jī)，形成測量波面。根據(jù)參考波面和測量波面干涉產(chǎn)生的干涉條紋，可以測量樣品的表面面形和傳輸波面質(zhì)量，樣品為平面或球面。如果為非平面和非球面，則需通過加裝補(bǔ)償片等手段進(jìn)行測量。